两种规格的真空储存柜均主要由真空系统、测量系统、控制系统三部分组成，具体说明如下：

六厢真空储存柜：

• 真空系统：包括真空管道与腔体、真空泵、真空阀、真空计等，为产品器件提供真空存储环境。其中，预抽管路由涡旋干泵爱德华 XDS35i、真空管道与腔体、真空阀 GDQ-J40/SB1 等组成； 主抽管路由涡旋干泵爱德华 XDS35i 与普发分子泵 Hipace 700、真空管道与腔体、真空阀 GDQ-J63/SB1、真空计等组成。

• 测量系统：包括成都睿宝复合真空计 (电离规 ZJ-27/CF35)、温度测量以及湿度测量。

• 控制系统：采用独立电控柜，可根据参数设置要求，自动控制储存室的排气、放气动作。

三厢真空储存柜：

• 真空系统：包括真空管道与腔体、真空泵、真空阀、真空计等，为产品器件提供真空存储环境。

• 测量系统：包括真空度测量、温度测量以及湿度测量

控制系统：根参数设置要求，自动控制储存室的排气、放气动作。